型号:SYRUSpro 1100;生产厂家:德国莱宝公司
SYRUSpro光学多层镀膜机是莱宝光学开发应用于精密光学的真空镀膜系统。这套设备的设计针对在各种不同基片材料上使用各种镀膜材料进行光学薄膜镀制的应用。配备有一个6KW和一个10KW的电子枪以及一套电阻式蒸发装置,并配备有APS等离子体源,用于离子束辅助沉积。膜厚控制采用了两种宽光谱光学监控,分别是透射式直接监控和反射式间接监控,两外来配备有石英晶体监控装置。在光学薄膜监控过程中可以实现物理膜厚和光学膜厚同时监控,可以方便地控制规整膜系和非规整膜系,适合于紫外、可见到红外区全波段光学薄膜的镀制与控制。